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还原炉中的二氯二氢硅

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发表于 2013-12-4 10:38:35 | 显示全部楼层 |阅读模式
还原炉中,二氯二氢硅是如何产生的?
比例有多大?这个比例,可以是还原尾气进VGR前的,也可以是VGR氯硅烷中的含量?大家应该有分析。
其反应过程,我看有的资料上面讲是
2SIHCL3=SIH2CL2+SICL4,
有的资料上面讲是
SIHCL3+h2=SIH2CL2+HCl,
不知道哪一个是对的,或者还是由其他反应过程或方程?
我很想搞清楚这个问题,晚上都睡不好,白天吃不香,但问了很多人,都没人讲明白,想在这里搞明白。
谢谢了。
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发表于 2013-12-7 18:07:40 | 显示全部楼层
其实很多副反应可能是歧化反应、还原反应和氢化反应的结合体
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发表于 2013-12-18 14:22:41 | 显示全部楼层
那问什么还原炉里面还会产生好多细小的粉末,那玩意是什么啊,怎么产生的
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发表于 2013-12-20 16:10:06 | 显示全部楼层
硅沉积快则二氯二氢硅产生少,要想办法提升硅的沉积率才能大幅减少这个东西!
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发表于 2013-12-27 12:50:20 | 显示全部楼层
细小的粉末应该是不定型硅吧,应该是温度不合适造成的,越大的炉子,温场越不均匀,开起来越容易有这个粉末。。。还是要看温度和物料控制,具体的也说不好。
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