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有关精馏段三氯氢硅原料中B、P、Al、Fe分别是一什么形式存在的?

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发表于 2009-9-17 09:01:30 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 zjiris 于 2009-9-17 09:59 编辑
请教大家,多晶硅精馏段三氯氢硅原料中B、P、Al、Fe分别是一什么形式存在的?B和P除了一Bcl3、PCl3的形式,还有别的吗?
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发表于 2009-9-18 16:39:30 | 显示全部楼层
BCl3、BHCl2、PCl3、PCl5、POCl3以及其它尚未确定的化合物
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发表于 2009-9-20 16:15:17 | 显示全部楼层
还有部分的Alcl3和Fecl3
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发表于 2009-9-21 15:59:49 | 显示全部楼层
这个是我们内部资料上的
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发表于 2009-9-21 20:17:38 | 显示全部楼层
呵呵资料这么细啊
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发表于 2014-2-20 10:42:55 | 显示全部楼层

zhangrang 发表于 2009-9-18 16:39

                                
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BCl3、BHCl2、PCl3、PCl5、POCl3以及其它尚未确定的化合物

BHCL2??????是什么哦,好像差不出来 这个是什么
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发表于 2009-9-18 16:39:00 | 显示全部楼层
这么详细的资料 呵呵  不过我们直接络合  效果不错 没考虑以什么形式存在
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发表于 2014-4-22 01:22:50 | 显示全部楼层
BH2,BH5,国外专利上有提到
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