不定型硅的产生机理是什么？如生成温度，压力等，各位海友进来谈谈？

发表于 2012-6-24 18:17:31

不定型硅的产生机理是什么？如生成温度，压力等，各位坛友进来谈谈？

发表于 2012-6-26 07:56:22

产生无定形硅的主要原因 1：硅棒表面温度太低 2：气相温度过高 3：氢气太少。
第一种：常见于十二对棒的还原炉运行到后期，有的厂家将反应时间设置的太长，硅棒长得太粗，为了防止硅棒破裂，一般将后期反应温度设置的较低
第二种：常见于二十对及其以上的还原炉，还原大，温场分布不均，尤其内环四周都是硅棒，到了后期，热辐射强烈，只要气相温度局部超过了570℃，TCS开始分解产生硅粉，这种情况无法避免。
第三种：这种情况仅见于由于误操作时，氢气远远低于正常值时才会发生，一般的调整配比（从二调到五）都不会发生。

发表于 2012-6-26 08:51:07

千寻卫子发表于 2012-6-26 07:56

产生无定形硅的主要原因 1：硅棒表面温度太低 2：气相温度过高 3：氢气太少。第一种：常见于十二对 ...

感谢坛友如此透彻的分析，我们将试探您所说的进行探索实验，希望你继续跟进，也希望其他坛友继续发表自己的见解。

发表于 2012-6-26 07:56:00

有道理，生产中慢慢体会

发表于 2012-6-26 10:21:53

学习了，谢谢。

发表于 2014-5-30 11:25:31

说得有道理，不过二氢二氢硅过多也会产生不定形硅。

发表于 2014-6-13 20:03:24

ohshiliuxing 发表于 2012-6-26 10:21


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有道理，                生产中慢慢体会
  生产中需要细心观察及时调整进料  电流等参数

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