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酸洗碳头料

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发表于 2010-10-16 13:05:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位前辈,我是一个刚入行的,正在从事硅材料酸洗工艺的研究。
现在在处理碳头料的时候出现了一个问题,对于碳头料的处理,如果碳头料为原生多晶硅的话,用现在的工艺基本上可以把多晶硅和石墨有效的分离开。但是现在有一批是异常铸锭锅底料,同样也是含石墨,用处理原生多晶硅的工艺去处理这批料的时候发现,多晶硅之间的石墨可以有效的分离,但是石墨和多晶硅的接触面会有一层石墨残留,继续浸泡的话也看不到明显的变化。
想请问一下各位前辈,除了打磨外有什么好办法除去这些附着在硅表面的石墨,谢谢。
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发表于 2015-11-5 11:31:06 | 显示全部楼层
用什么浸泡?石墨与硅的接触面上估计形成了SiC,很难去除
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