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改良西门子法生产多晶硅工艺中除硼、磷的方法

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发表于 2011-4-9 22:26:43 | 显示全部楼层
学习一下  我们合成出来的三氯氢硅含硼挺高的   不知道什么原因
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发表于 2011-4-10 20:06:00 | 显示全部楼层
多谢分享!学习之中!
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发表于 2011-10-15 22:26:02 | 显示全部楼层
通过拜读楼主的资料,终于知道怎样写申请专利的文件了。

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发表于 2018-5-10 10:57:55 | 显示全部楼层
可以用树脂吸附硼和磷处理
行业有使用
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发表于 2018-7-10 19:30:39 | 显示全部楼层
不错的资源学习了
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发表于 2018-7-11 13:31:54 | 显示全部楼层
现在采用树脂吸附法了
可以我交流
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