硅氯化物精馏提纯方法简介

精馏提纯是半导体多晶硅工业生产中广泛采用的SiHCl3原料净化方法之一，具有设备简单、便于制造，处理量大，操作方便，板效率高，避免引入带杂质的任何试剂，分离精度可达ppb级等众多优点。精馏塔对非极性金属氯化物有较高的分离效率，但是对硼、磷和强极性氯化物等杂质的分离受到一定限制，单纯的精馏难于满足高纯多晶硅生产的要求。
为了提高精馏提纯的除硼效果，现在的多晶硅生产厂大都增加了部分水解法。利用水与BCl3、PCl3反应生成络合物（BCl3 -POCl3）或生成（Cl2BOSiCl3），使硼、磷杂质以较高沸点的化合物形式存在，易于从塔中分离出去。在硼、磷杂质的氯化物发生反应的同时，一部分水仍将与氯硅烷反应生成细小的二氧化硅颗粒，二氧化硅颗粒是比表面积很大的多孔物质，具有很强的吸附性能，能吸附大量的硼、磷等杂质，使硼磷等难分离的化合物随颗粒物的沉淀以残液的形式除去。

那么 不用担心TCS水解吗