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海云飞 发表于 2007-8-15 13:25:55

四氯化硅氯氢化生成三氯氢硅问题

现在考虑四氯化硅氯氢化生成三氯氢硅，问题包括是放热反应还是吸热反应，反应包括
SiCl4+H2===SiCl3＋HCl＋Q
Si+3HCl====SiHCl3+H2+Q
Si＋2HCl＝＝＝SiH2Cl2＋Q（少量副反应）
其中的Q是多少？
固定床和流化床？
硅粉的输送?
反应热的移除和补充？
硅粉的计量？
空气的隔离等问题？
还有管道的堵塞问题？
请大家讨论下

dyclyt 发表于 2008-6-11 15:02:33

反应热
Cl2+H2=2HCl+184kJ
Si + 3HCl=   SiHCl3+H2+ 50kcal
Si+4HCl=   SiCl4+H2+54.6 kcal

valiantman 发表于 2008-6-11 21:30:40

SiCl4+H2===SiCl3＋HCl＋Q
Si+3HCl====SiHCl3+H2+Q
Si＋2HCl＝＝＝SiH2Cl2＋Q（少量副反应）
你写的第一个反应我不是很明白,是不是能这样写呢----
      SiCl4+H2===SiHCl3＋HCl＋Q

gxlz530006 发表于 2008-6-11 23:14:59

SiCl4+H2===SiCl3＋HCl＋Q
这个我也不明白，~~这个循环效果不会很好，一般只是用做多晶硅的附属工艺。

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