王者 发表于 2008-8-7 14:42:36

有谁能介绍一下多晶硅过程中的设备？

现在多晶硅的生产，各行业都是技术保密！
由于本人需要学习此方面的知识，请各位对多晶硅生产了解的介绍一下其动设备、静设备！
当然，在不涉及行业机密的情况下，也不要让大家为难！
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lxn_663 发表于 2008-8-7 16:57:42

楼主论坛中有这方面的帖子：
https://bbs.hcbbs.com/thread-148862-1-1.html

王者 发表于 2008-8-7 18:17:42

多晶硅的主要装置有:
1氢气制备：一般用水电解制氢，此部分国内好多常见，只是半导体极地需要，氢气的纯度更高，基本不用进口；
2HCL合成，卡朋罗兰有成套设备，估计国内也有生产，需配套干燥装置
3氢化氯化，部分流化床反应器进口（不锈钢设备）的多，
4精馏塔，基本进口（不锈钢设备）日本美国
5还原炉，全部进口
7氢气等尾气回收，塔器国产的多，但氢压机需进口
8中间储罐，国内即可生产
9后处理，关键设备进口
感谢2楼的提供链接，以上是摘录，但内容还不够详细！
有谁能够介绍的更清楚些！
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henxingyu 发表于 2008-8-10 21:25:09

还原炉,氢化炉,HCL合成炉,尾气吸收.不能说的太多

askformorepassi 发表于 2008-8-26 14:22:49

学习学习
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henxingyu 发表于 2008-8-26 21:50:16

说了这些设备有什么用呢?只能在讨论的时候多了些名词而已

whues 发表于 2008-8-27 08:43:28

国内目前多晶硅的生产要么是电子级要么是太阳能级的多晶硅，也就是个纯度的问题。不管是哪种方法，大体上上都是用改良西门子法来生产的。无非就是粗料（三氯氢硅）制备、提纯、还原、尾气回收、STC转化等几个单元组成，然后就是生产过程中的一些辅助原料，氢气、HCL、导热油等。关键设备就是这些生产过程中一些比较重要的设备，比如：氢气压缩机、HCL压缩机、三氯氢硅还原炉、四氯化硅转化炉等，其他的设备基本国内都可以采购。
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