songgaojie_610 发表于 2008-10-14 00:07:58

进入还原炉的三氯氢硅的纯度是多少！？

那位大侠，知道三氯氢硅进入还原炉时的纯度是多少！？

sararara0002 发表于 2008-10-14 00:15:24

至少太阳能级，6个9，一般9个9以上

zhtx304 发表于 2008-10-14 08:07:16

你们是生产什么等级的多晶硅？太阳能级还是电子级？

whues 发表于 2008-10-14 08:37:42

太阳能级5个9，电子级11个9

jackzhouzzq 发表于 2008-10-14 08:54:03

所以对精馏要求很高。一般来说，还原纯度最高，氢化次之，合成最差

xiaolip 发表于 2008-10-14 09:24:19

进入还原炉的三氯氢硅，其含量是越纯越好，但是经还原炉生产出来的多晶硅的质量跟进入还原炉的三氯氢硅含量没有关系，主要是和进入还原炉的三氯氢硅中硼和磷的含量有关系，硼和磷的含量越大，多晶硅的质量就越差，一般控制硼和磷的含量在3个ppm以下；三氯氢硅的含量只影响多晶硅的产量和生长速度。
至于多晶硅上所说的几个9的问题，是说进入还原炉里面的三氯氢硅的杂质含量是1减去多少个9.
[ 本帖最后由 xiaolip 于 2008-10-15 17:51 编辑 ]

liusuibian 发表于 2008-10-14 09:25:18

三氯氢硅的纯度大于等于产品纯度

cyx168 发表于 2008-10-14 09:27:10

通常是9个9以上
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