dvb007 发表于 2008-10-29 16:17:22

关于太阳能级多晶硅生产辅料的作用

在这里问下工艺的朋友，在太阳等级多晶硅生产中，主原料是硅粉和氢气，其他如液氯、液氩、硝酸、氢氟酸、石灰石粉等辅助原料的在生产过程中分别起什么作用呢？谢谢

LHY8771 发表于 2008-10-29 17:22:40

液氯：生产三氯氢硅用
液氩：生产硅芯用
硝酸、氢氟酸：处理硅棒用
石灰石粉：废液处理用

sararara0002 发表于 2008-10-29 18:47:28

其实拉硅芯根本没有用液氩

dvb007 发表于 2008-10-30 08:28:33

原帖由 LHY8771 于 2008-10-29 17:22 发表
                              
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液氯：生产三氯氢硅用
液氩：生产硅芯用
硝酸、氢氟酸：处理硅棒用
石灰石粉：废液处理用 谢谢了
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bake8 发表于 2008-10-30 09:13:54

各种工艺之间还是有少量的差别的

yuhan_xu 发表于 2008-10-30 11:11:19

硝酸、氢氟酸是清洗硅芯用的
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