llj2009 发表于 2009-1-30 11:11:53

还原炉底盘尾气出气方式

在设计还原炉底盘尾气出气方式的时候，有的设计为中间出气，有的设计为四周出气，还有的设计为钟罩顶部出气，大家能否提出合理有效的方案呢？欢迎各位积极参与，谢谢了
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XNHHSDGM 发表于 2009-1-30 11:50:30

我的理解是从底盘出气比较好，这样混合气在炉子里面可以充分混合，沉积时间也比较长。特别是在硅芯表面停留的时间较长，有利于硅棒的生长。

南希 发表于 2009-2-1 11:02:48

中间，喷射出气

ppqiner 发表于 2009-2-2 15:10:19

如果是在底盘中间的话，又有进气喷嘴又要出气，设计起来麻烦吧
怎样分布进气呢？

happyfatboys 发表于 2009-2-2 21:21:25


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没有那样的炉子的兄弟

solarldk 发表于 2009-2-3 21:42:25

基本观点同六楼，但是要把握好氢气与三氯氢硅的配比，还原转化率随着氢气与三氯氢硅的分子比增大而提高，分子比为30时，转化率可达到百分之四十，但是配比太大，氢气得不到综合利用，这不仅需要消耗大量的能量和原材料来提纯氢气，而且还因为过大的氢气配比会降低多晶硅的沉积速率，降低了生产效率。适当的降低氢气配比有利于抑制硼，磷的析出。

南希 发表于 2009-2-6 14:13:51

我们公司使用的三个国家产的炉子都是从底盘中间出气的，从底盘分布的各进气口进气，气体从中间及四周喷嘴出来，气体在炉内经过硅芯加热后热气流上升，当遇到炉壁后，由于被冷却水冷却，气体再次往下走，这样可以形成一个类似喷泉的气流方向，尾气先经过90度水冷后再用来给H2和TCS混合气体加热
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