g20505029 发表于 2009-1-6 23:04:26

西门子法的副产物四氯化硅的纯度

各位前辈,有人知道西门子法所得的副产物四氯化硅的纯度吗?其中还有什么杂质,它们的含量是多少?
谢谢
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-1-14 10:14 编辑 ]

lipanhg 发表于 2009-1-14 11:46:59

通过精馏得到的四氯化硅纯度已经非常高了,主要杂质是原料带来的硼化物、磷化物等

feibiao101 发表于 2009-2-10 13:17:23

原帖由 g20505029 于 2009-1-6 23:04 发表
                              
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各位前辈,有人知道西门子法所得的副产物四氯化硅的纯度吗?其中还有什么杂质,它们的含量是多少?
谢谢
纯度可达100%,含金属杂质。
楼上问这,有用吗?
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