XNHHSDGM 发表于 2008-8-30 09:06:36

多晶硅生产过程中的环境问题

最近多晶硅生产过程中的环境污染问题暴露的比较多，主要的是HF和四氯化硅等产生的污染。不知道现在有没有比较好的处理方法？

yindaqing 发表于 2008-8-30 09:18:56

我是乐山的,这里搞了不少多晶硅,心里担心哪!污染了怎么处理.

ward263 发表于 2008-8-30 09:53:32

可以把HF和四氯化硅利用起来，四氯化硅做Na2SiF6、K2SIO6等产品。

zsx0819 发表于 2008-8-30 11:01:53

四氯化硅可氢化或汽相白炭黑，广州那边一研究所在汽相白炭黑方面的研究有一定的成果了

bake8 发表于 2008-8-30 12:59:39

废物的利用不简单，需考虑成本和效益啊

ppqiner 发表于 2008-9-1 20:10:24

大量的SiCl4到最后可能还是迫切要求国内解决氢化工艺
还有HCL问题......
白炭黑用量应该不是很多 还是不能解决

XNHHSDGM 发表于 2009-2-12 10:50:30

恩，工艺还不完善，循环利用是最好的解决办法，各个多晶硅生产厂家都在想法解决这个问题，但愿能早日成功。
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