江枫渔火 发表于 2008-10-31 14:16:25

谁知道多晶硅生产物料的配比?

有没有谁知道多晶硅生产物料配比的配比值,以及整个的配比曲线;

luoye888 发表于 2009-2-22 11:36:44

温度在1080左右,摩尔比控制在1：5到1:8之间,进料量要控制

HLJ 发表于 2009-2-24 15:41:31

配比要根据生产要求来定，要求沉积快点 配比调小。要求表面光滑致密，配比可以调大，就是氢气的量多些，最好在生产中摸索在二者之间找到平衡，可以兼顾。
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