uranus 发表于 2009-2-23 09:52:32

HCL合成中的高纯盐酸标准

HCL合成要用到高纯盐酸，在多晶硅生产工艺中，对高纯盐酸有没有什么特殊的要求呢？

majiepinger 发表于 2009-2-23 10:26:45

合成SiHCl3用的是H2和Cl2反应生成的HCl,没有用到高纯盐酸,盐酸是多晶硅还原尾气分离后的副产品,有分离制酸工艺

uranus 发表于 2009-2-23 10:36:07

首先要合成气象HCL，由HCL合成TCS，而合成HCL时要用到盐酸，我问的就是这里用到的高纯盐酸，而这里有没有什么特殊的指标要求？

zw1902 发表于 2009-2-23 15:00:11

直接用H2 和CL2制取气相HCL就行了吧！对于HCL主要达到设计纯度就可以了！而且HCL有很大一部分比重来至于回收！想问一下，为什么会用到高纯盐酸呢？

uranus 发表于 2009-2-23 17:18:23

就是说对于后续的工序，如TCS合成，应该控制我们这里的那些元素呢？ 都是金属杂质影响么？
页: [1]
查看完整版本: HCL合成中的高纯盐酸标准