fuwasi 发表于 2008-10-15 15:34:44

三氯氢硅的尾气处理问题

三氯氢硅的尾气中含有大量的H2、HCl以及少量的氯硅烷。通过水洗塔洗涤时容易堵塞。环保也不容易达标。如何能将这三种组分分开？
[ 本帖最后由 QXZ-1966 于 2008-10-17 08:14 编辑 ]

斑点猫 发表于 2008-10-16 14:11:59

先池洗，再塔洗，最后手机氢气！
池渣为聚硅氧烷/纳米二氧化硅！
液体为卤化物盐类，可作为其它生产的原料！
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lipanhg 发表于 2008-11-12 10:55:24

我公司在四川建了一套5000Nm3/h的多晶硅尾气净化回收装置，运行效果非常好。
净化回收的氢气和氯化氢循环回三氯氢硅生产用，分离的三氯氢硅用于生产多晶硅，四氯化硅用于氢化循环使用，整个系统没有废弃物外排，没有环境污染问题。
三氯氢硅的尾气和多晶硅尾气成分基本相同，可采用相同的方式。我公司正在建设2套专门用于三氯氢硅尾气净化回收的装置。

fuwasi 发表于 2008-11-13 16:58:19

三氯氢硅的尾气和多晶硅尾气成分的确基本相同，不过“四氯化硅用于氢化循环使用”对于非多晶硅行业来说就不适用了。

wqing123456 发表于 2009-2-26 23:16:41

关键是看处理的目的，可以采取黑白气象法进行处理，产生白炭黑，现在的市场价格也很好，前景也还不错

feibiao101 发表于 2009-2-28 15:30:57

原帖由 lipanhg 于 2008-11-12 10:55 发表
                              
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我公司在四川建了一套5000Nm3/h的多晶硅尾气净化回收装置，运行效果非常好。
净化回收的氢气和氯化氢循环回三氯氢硅生产用，分离的三氯氢硅用于生产多晶硅，四氯化硅用于氢化循环使用，整个系统没有废弃物外排，没有 ...
阁下高就何处？
真的整个系统没有废弃物外排 吗？
回收 氢气 的质量指标，如何？

jincz 发表于 2009-3-1 20:24:04

现在好多三氯氢硅厂家都在上变压吸附,尾气洗淋产生的盐酸和sio2 令人头痛,我们公司也有这想法

rishionli 发表于 2009-3-2 09:06:16

难道楼主没有听说过CDI尾气回收技术么？采取干法回收，再配合淋洗塔，自然就能达到循环和处理了。。。
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wqing123456 发表于 2009-3-4 00:59:38

可以采用变压吸附惊醒回收利用氯硅烷，这样可以达到要求

xuelangpk 发表于 2009-3-4 11:20:25

LZ说的是尾气还是废气啊？如果是尾气就用尾气回收系统，如果是废气就用碱液淋洗，淋洗后的碱液再进行废液处理就可以啦
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