忧郁小精灵 发表于 2009-3-4 01:08:18

还原尾气温度变化情况分析

在还原过程中,随着反应时间的增加,还原尾气的温度逐渐上升,但当氢气与TCS配比不合适时还原尾气温度会发生显著变化,当尾气温度下降时,该如何处理?

feibiao101 发表于 2009-3-7 21:56:48

主要还是控制还原炉的温度,硅芯表面的温度。

zjiris 发表于 2009-3-7 22:41:24

现在主要控制的是还原炉内硅棒温度,没有听说过控制尾气温度的.
不知道楼主说的是否是现在用到的控制方式

南希 发表于 2009-3-15 11:55:12

要控制硅芯温度,也就是炉内温度
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