ky_peng 发表于 2009-4-10 17:24:24

氯硅烷方面的书籍、文献

希望各位大侠能提供一些介绍多晶硅、三氯氢硅等氯硅烷生产工艺、物化性质、尾气处理方面的图书和文献？最好PDF版的，在此 先谢了！

zjiris 发表于 2009-4-10 18:54:10

你可以去分版块去看看,里面共享了很多这方面的资料书籍.

ymlgx 发表于 2009-4-10 20:52:29

哎，这方面的资料太难找了，去数据库里看看有没有这方面相关的文献吧，或者叫同学去学校的数据库里找
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