waitmebt 发表于 2009-4-15 23:14:36

还原炉启炉和停炉是对抽空在操作上有什么区别？

还原炉启炉和停炉是对抽空在操作上有什么区别？

350664009 发表于 2009-4-17 20:08:37

没什么大区别起炉时硅芯细气量小点避免吹倒停炉就没这么多计较不过炉子要用氮气多吹一会不然氯硅烷气体过多抽出来味道难闻

waitmebt 发表于 2009-4-17 22:08:06

其实操作上都是一样的，只一项除外：
启炉时要打开尾气管上的手动阀。
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