zhouqm 发表于 2009-4-30 13:36:34

多晶棒疏松与致密，其电阻率有何不同

多晶棒疏松与致密，其电阻率有何不同，希各位同仁发表意见

lmxgg 发表于 2009-5-1 16:57:00

这是结构质量的问题吧，与纯度有关系吗？

legend9205 发表于 2009-5-1 20:54:28

多晶硅疏松，则疏松内部热量不容易被物料带出，导致内部温度过高，因此BCl3和PCl5沉积量要多于致密的多晶硅，因此多晶硅疏松，电阻率往往低，产品质量不好

qlxall 发表于 2009-5-3 08:44:40

楼上说的没看懂。。。磷棚含量多少跟电阻率有啥关系？
他们之间有补偿的，有可能电阻率还高呢
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