关于三氯氢硅反应的温度
三氯氢硅的反应温度为80--310℃,为什么温度范围会这么宽,还是我的数据错误了,
望有知道的帮下忙,不胜感激
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什么反应啊,楼主说清楚点,如果是合成,温度在300度左右 是280-310度吧 氯化氢气体经水冷、深冷和酸雾捕集器脱水后进人氯化氢分配台,再经过氯化氢转子流量计进入三氯氢硅合成炉。将硅粉通过计量后,通过真空管道用气体输送至硅粉干燥器,分批加入三氯氢硅合成炉。在三氯氢硅合成炉内,温度控制在280~320℃,硅粉和氯化氢发生反应,生成三氯氢硅和四氯化硅气体。 传统西门子法温度 250~350℃ 我公司的TCS反应温度是380,我们的三氯氢硅粗品是87到90
[ 本帖最后由 limingshuguang 于 2008-10-20 14:23 编辑 ] 大家都差不多的,一般反应温度控制在310左右的,最高不超过325,最低不低于290 这么大的温度范围。
你一定是记错了。
我可以很负责的告诉你。除了温升过程中有短时间的温度浮动差距。
正常生产中,没有这个温度。 是全过程的 温度浮动 280度以下,主要反应生成二氯二氢硅
280度到330度,主要生成三氯氢硅,最佳反应温度是315度
330度以上,主要生成四氯化硅
以上回复妥否,请多指教
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