关于多晶硅生产所用的原料分析和讨论
按照GB2881标准,目前生产中通用的金属硅牌号有(化学成分)有以下几种:Si-1501;Si-1502;Si-2202;Si-2502;Si-3303
化学成分见下表:
牌号
硅(Min)%铁(Max)%铝(Max)%钙(Max)%磷
(Max)ppm粒度
(Min)90%
Si-1501
99.69
0.15
0.15
0.01
30ppm
10-100mm
Si-1502
99.68
0.15
0.15
0.02
10-100mm
Si-2202
99.58
0.2
0.2
0.02
30ppm
10-100mm
50ppm
不限制
Si-2502
99.48
0.25
0.25
0.02
30ppm
10-100mm
50ppm
不限制
Si-3303
99.37
0.3
0.3
0.03
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当然在国标中金属硅的牌号还很多,欢迎大家补充。
同时我们院在做一个小的实验装置,尝试着用冶金法制作SG级的多晶硅。
在原料方面,大家给点建议哈,谢谢! 根据从网上看到的一篇帖子,新硅烷法需要的原料金属硅纯度在98%以上就可以了。
不过没有看到哪里有说到底哪个牌号最适合。:loveliness:
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