chinajun28 发表于 2009-3-10 15:56:57

关于氢气的问题

问一下大家，多晶硅工艺中用的氢气都怎么来的呢？纯度怎么样？

gcc 发表于 2009-6-14 11:23:38

我所知道的是：　买的。

liuxiling0809 发表于 2009-6-14 14:48:09

1500T/N的多晶硅线有专门的电解制氢装置，提供6个9以上纯度的氢气，且含水量等指标有较高要求，
日常生产当中，还原氢化车间使用的氢气大多数从尾气回收分离装置中的氢气吸附塔吸附提纯后再使用！
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