ivyer021 发表于 2009-6-8 11:26:10

P、B存在形式

多晶硅生产中P、B等杂质的存在形式是什么及其物化性质？因为检测时只显示元素含量。了解了粗三氯氢硅中的组分组成应该会对精馏的操作有用！请大家发表意见。

Minos 发表于 2009-6-8 14:19:58

一般就只是BCl3和PCl3，但是也不排除BCl2等一系列化合物的存在

XNHHSDGM 发表于 2009-6-9 08:48:52

三氯氢硅中的杂质一般都是以氯化物的形式存在，比较简单。

ivyer021 发表于 2009-6-10 18:52:06

有没有络合物呢？

piaowu0335 发表于 2009-6-11 21:38:39

氯化物，络合物，聚合物可能都存在

chwell2004 发表于 2009-6-15 10:04:12

主要是氯化物和氯化络合物吧，好多文献都有报道
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