robinluo20 发表于 2009-6-10 18:12:25

有没有对多晶硅新技术SRI 技术比较了解的朋友呢

最近网上看到台湾有两家公司元晶 和旭晶源 采用的是美商SRI的技术，以四氟化硅为原料，金属钠为还原剂
希望了解情况的多多交流下！

Minos 发表于 2009-6-11 09:22:44

就是硅烷法而已，只不过硅烷是用四氟化硅还原来生产的

robinluo20 发表于 2009-6-11 09:33:03

楼上的 SRI技术 不是硅烷法，它是以氟硅酸钠为原料制备出四氟化硅气体，然后直接用金属钠还原四氟化硅气体来制备多晶硅的，
你说的硅烷法确实有以四氟化硅为原料的，不过和我这里要讨论的不一样

ppqiner 发表于 2009-6-15 09:13:44

设备材料要求大不同

南希 发表于 2009-6-15 12:43:39

类似于早期的杜邦法，不过杜邦法是用锌还原

XNHHSDGM 发表于 2009-6-16 11:36:01

用金属钠还原问题很多，工艺的稳定性和安全性不知道怎么样？成本如何？我们知道硅的氟化物比氯化物更难处理。
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