worldlibin 发表于 2009-6-10 16:25:40

还原炉停炉的时候 为什么不直接把三氯氢硅给断掉？

还原炉停炉的时候 为什么不直接把三氯氢硅给断掉？而要用大约半个小时左右把三氯氢硅物料给停掉，难道有什么影响吗？

忧郁小精灵 发表于 2009-6-10 22:10:20

需要注意硅棒温度的变化啊，当你把TCS突然切断后，硅棒表面温度会发生巨大的变化，所以需要采取缓慢降料的方式，同时还要控制硅棒的温度，最后才能设自动停炉。

fries 发表于 2009-6-11 16:14:56

也有这方面的疑惑。有道理，学习了！

mao12345 发表于 2009-6-11 16:22:12

采用一边减物料一边降电流的方式保证温度的稳定，防止温差太大导致硅棒倒棒。

chengerqing2272 发表于 2009-6-12 13:25:43

恩，是啊，温度变化过快很容易倒棒的！

wulffor 发表于 2009-6-13 18:44:06

如果在正常生产中
tcs突然断掉的话
硅棒温度会怎样的变化
变化明显吗

waitmebt 发表于 2009-6-20 23:00:17

请注意，进还原炉的是混合气，不是SiHCl3。
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