楚楚 发表于 2009-6-24 17:00:31

多晶硅倒炉与过程控温、停炉的关系？

硅棒倒炉肯定与多种原因有关系，大家说说倒炉与硅棒生长过程温控、停炉方案有多大关系？

miaofeng120 发表于 2009-6-24 22:25:53

停炉温度降的过快会倒炉

raytek 发表于 2009-6-25 13:39:59

过程控温,一定要确认测温仪瞄准的是被测硅棒,很多情况是测温仪没有瞄准目标,测的是炉子中间空隙或者炉壁温度,导致显示温度值低,在加大功率后,导致实际温度偏高,温度过高,棒料难以支撑过大的重量,导致棒倒,所以温度监控非常重要,准确的温度监控尤为重要,有关问题,MSN 交流, sidevin0518@hotmail.com.cn

南希 发表于 2009-6-26 23:09:06

温度应该和调功器是连锁的。
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