wulffor 发表于 2009-6-10 11:16:09

硅棒生长横梁过亮

在硅棒生长到较大的时候
横梁出现了上下温差
上部变暗 下部耀眼的亮

大家讨论下出现这种情况和那些因素怎样的变化有关
电流、气量等

楚楚 发表于 2009-6-10 20:44:20

后期上面温度其实高于下部。混合气一般是从下部进入炉筒,因为进气量大,气体进入炉筒后,一方面靠压力差向炉筒顶部扩散,另一方面,从分子角度,气体分子刚进入炉筒温度低,会慢慢吸收热量,通过分子热运功扩散到炉筒顶部,达到反应温度时就发生反应,沉积在硅棒表面!
但后期横梁温度不均匀,形成的硅棒太疏松,晶核与晶核之间间隙温度太高,反应速率慢,甚至会发生逆反应!因此后期横梁有的地方也会很亮。

ercihanshu 发表于 2009-6-29 22:17:04

与温度有关,横梁的上部温度低在900度时还会生成不定形硅,上部散热快长的较薄,下部散热慢温度较高,则亮,与进料没关系,与电流大小有关

Minos 发表于 2009-6-30 17:39:46

应该是上面温度更高啊,横梁接触的部分是电阻最高发热最大的地方,顶部的温度应该是最高的,下部接近底盘,由于有底盘冷却水的存在,温度反而要低一点
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