新硅烷法工艺介绍，资料很笼统
第一步：无水乙醇对冶金硅进行直接烷氧基处理，得到三乙氧基硅烷；第二步：采用催化歧化三乙氧基硅烷法制取甲硅烷。借助于自己的选择性，这种方法为制取纯洁甲硅烷非常有效；
第三步：水解甲硅烷制备中的副产品—四乙氧基硅烷，可以得到无水乙醇，并把它返回到工艺流程。
工艺特点：
（1）原材料（冶金硅和乙醇）供应数量无限，价格相对低廉。
（2） 不使用氯化合物，整个流程对生态无污染；
（3）反应产物不与反应炉壁相互反应，把终端产品的污染降到最低，这就可以使用普通结构材料制造生产设备；
（4）所有流程在常压下进行，反应温度不超过300℃；
（5）只有硅进行化学反应，不会有外来杂质进入，这样就减少了提纯的成本；
（6）几乎所有的生产废料都用来制备有用的副产品；
（7）大部分反应试剂（约95%）都不断地返回到工艺流程；
（8）每公斤多晶硅生产消耗的能源约为30千瓦.小时（一般的三氯氢硅法需要约200千瓦.小时）。
某厂已经试生产成功，这些是网上找的，大家 讨论下
技术进步才是行业经久不衰的源泉。金属研发任重而道远。
资料缺失很笼统，没有工艺参数，可能还处在实验室阶段。 四乙醇基硅水解也是个大麻烦啊。
而且无法回到三乙基硅烷。 有个思路已经不错,具体伯,还得自己去研究 很先进，不是很了解 硅烷法生产多晶硅已经早已跨过了实验阶段，国内都已经有多家企业采用硅烷法生产多晶硅。这些项目我都参与过。 回复 6# kwen
能不能简单介绍下国内硅烷法厂家的生产情况
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