200吨实验线掺合了四氯化硅作原料生产多晶硅。 有永祥的朋友说说这样混合后的效果吗,将二氯二氢硅加入进去,可以增快沉积速率。还不知道加入四氯化硅的效果 我去过几次,是热氢化。 好像听说他们的没有氢化,他们的还原也当氢化用。还原和氢化同时进行 好像听说他们的没有氢化,他们的还原也当氢化用。还原和氢化同时进行
cxiaotian 发表于 2011-6-20 23:05
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这就是传说中的第四代改良西门子法?
回复 15# 68LONG
这还能算第四代?
这纯粹是仗着电便宜,慢慢长所谓的高质量硅棒........... 听说是在做STC+TCS+H2进还原炉的试验,但是缺点是明确的:STC在还原炉和H利用热场产生加氢反应,之后才是还原反应,电耗单就还原电耗,铁定高,但是若其STC+H2控制得好,TCS会有所收益吧,转化率还是会影响的,说白了就STC的稳定性,是不能被直接还原的,所以,个人观点是同意氢化之后加了还原反应的,效率低点是应该的啦,有些象东北的馄饨哈 回复 17# 吉人赤子
好处不是一点都没有,加STC进去之后虽然长得慢而且电耗高,但是棒表面很光滑,硅棒切开后可以看到很漂亮的晶形,如果控制好的话,用这个工艺来做区熔棒或许是可行的
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