caijie1231 发表于 2009-3-6 09:44:08

多晶硅行业添加设备应用

现在多晶硅行业很多选用屏蔽泵来代替计量泵，针对此问题进行讨论

feibiao101 发表于 2009-3-7 11:28:02

计量泵脉冲比较大，屏蔽泵比较稳定。
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