还原炉进料中含有二氯二氢硅对还原反应的影响
还原炉中进行沉积反应时产生了少量的二氯二氢硅，经过回收处理
后三氯氢硅仍然含有少量的二氯二氢硅（5%-10%）。
请指教如果还原炉进料中含有二氯二氢硅，对还原反应有何影响？
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-3-5 10:14 编辑 ]
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斑竹哪里人士 问这么专业的干什么？
西门子法制备多晶硅的TCS原料？？？
西门子法制备多晶硅的TCS原料中，其中可不可以掺杂一些STC和DCS，如果可以的话大约是多少百分含量？
我已经发过类似的帖子了。
当然这些都是可以加的，而且加的百分比合适的话，对反应也都有利，还节约成本！现在就是不知道多少的百分比是合适的！ 看来没有人回答啊，是不是怕泄密哦？
一般情况下，如果进料不含二氯二氢硅的话，出料中最多1%-2%，你那5%-10%，肯定是进料的摩尔比还没有优化到位。 其实这个对反应是有利的，而且跟含量的关系不大，我所说的是美国技术，国内对这一点的认识好像还不太深。 原帖由 LHY8771 于 2009-3-4 17:39 发表
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还原炉中进行沉积反应时产生了少量的二氯二氢硅，经过回收处理
后三氯氢硅仍然含有少量的二氯二氢硅（5%-10%）。
请指教如果还原炉进料中含有二氯二氢硅，对还原反应有何影响？
（5%-10%）的二氯二氢硅？还叫少量？二氯二氢硅参加反应有点危险！肯定影响产品质量，多晶棒会疏松。 原帖由 feibiao101 于 2009-3-7 21:41 发表
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（5%-10%）的二氯二氢硅？还叫少量？二氯二氢硅参加反应有点危险！肯定影响产品质量，多晶棒会疏松。
个人认为：5%-10%进入系统是增加危险，不过还是处于可控范围．至于疏松也不会影响太大的．
当然，出现这种状况需要调整还原参数，通常二氯二氢硅多了反应出还原炉内一次转化率不高，因为二氯二氢硅一般多是在回收料含量高，原料基本不会含有的
[ 本帖最后由 zjiris 于 2009-3-7 22:33 编辑 ] 原帖由 chinajun28 于 2009-3-7 10:27 发表
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其实这个对反应是有利的，而且跟含量的关系不大，我所说的是美国技术，国内对这一点的认识好像还不太深。
含量是要控制在某个值以下的，含量多了，嘿嘿，会死人滴！不过，少量嘛，无所谓的，对反应确实是有利的
[ 本帖最后由 yezi7414 于 2009-3-8 20:31 编辑 ] 顶楼上！不能太多！危险的很！可能跟
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二氯二氢硅的物化性质有关！千万要小心！不可乱来！！ 粗精馏不彻底导致的结果。
应该去找精馏部门解决！是他们没有控制塔温。 根据生产经验二氯二氢硅比较多炉内无定型硅比较多
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