硅芯的击穿方式
大家都说说硅芯的击穿方式高压击穿呀
分几相击穿 3相,我们公司是升压14kv击穿,在倒回低压
换档操作 也有低压击穿 低压击穿,一般是什么情况下发生呢!? 有用等离子技术加热后 用6000V打压 还原炉硅芯击穿主要有:1.采用等离子高压击穿(利用氮气)2.利用卤素灯加热击穿。3.采用石墨加热棒加热击穿(配合1.2完成) 就国内多晶硅公司硅芯击穿方式,大部分采用高压击穿方式,这样做省时,对多晶硅质量没有影响,清洁,其他外加热方法多多少少会影响产品质量,要么费事,还原炉温度越高,打压时所用电压就越小 有些反应炉采用外加热器加热,加热到一定温度500左右,低压(小于2000V)击穿,但比较费事。 我们公司采取的是高压击穿,很快,相对简单可行!!
页:
[1]
2