楚楚 发表于 2009-7-12 20:25:05

最合理的停炉方案

可能采用的工艺不同，停炉方案不同，然而在停炉时经常倒炉，如何更好的停炉，避免倒炉，这是大家都想解决的。

Minos 发表于 2009-7-13 12:58:43

最主要就是降温过程的控制了，反正降得越慢越好，但是成本就太高了，为了节约成本，就要降快一点，降温过快就会倒棒....这就是一矛盾...

工艺员 发表于 2009-7-13 14:31:51

2楼兄弟，倒炉对多晶硅产品质量有什么影响？

伊甸园 发表于 2009-7-13 16:26:35

倒炉后，一方面影响反应炉底座的抛光效果，变得更耗电
同时，倒炉后多晶硅和石墨和石英接触，容易污染，多晶硅碎渣还会进入进气孔或尾气，管堵塞进气或堵塞换热器。
对于停车，可以边通TCS和H2 （进气量随之不断降低）继续反应，同时恒定的降电流。

chwell2004 发表于 2009-7-13 16:53:36

停炉时电流不能骤变

cchlzy 发表于 2009-7-13 18:29:32

不管采取什么方式，最主要的是让硅棒内、表温度均匀散发
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