南希 发表于 2009-7-7 08:53:50

多晶硅进料异常

本帖最后由 181128425 于 2009-7-7 10:13 编辑
多晶硅反应在氢气置换完成后，通入TCG短时间后在硅芯的表面会有少许绒毛状的物体，请问次物体的成分及产生原因？与平时所说的爆米花不同。

HLJ 发表于 2009-7-7 15:24:31

原料 或者炉内的比较脏 就是所说的长毛了 一般设备刚运行 开车的时候会出现这种情况

南希 发表于 2009-7-7 16:42:38

事实上上次开车还没有问题啊，在有绒毛的地方硅棒长得像狼牙棒。

忧郁小精灵 发表于 2009-7-9 03:33:54

可能是由于温度偏低不均匀的原因,在硅芯局部长出了毛刺,温控方面做得不够

南希 发表于 2009-7-9 18:48:00

谢谢楼上俩位。

yezi7414 发表于 2009-7-14 09:19:22

也可能是原料中有杂物。我们这里有一次开车意外停下来，开炉是发现d=25mm的硅棒上有好大一个面包球一样的东西，直径有100mm。
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