多晶硅精馏 发表于 2009-7-8 13:07:48

三氯氢硅中一般含有的杂质以及杂质的沸点是多少？知道的告诉下，谢谢

希望知道的各位朋友给我一点小的意见，感想万分

Minos 发表于 2009-7-8 13:27:53

常压下，BCl312.5         PCl3   76.1             SiCl4    57             SiH2Cl2   8.3

多晶硅精馏 发表于 2009-7-8 13:33:28

2# Minos
这只是目前大家公认的一些杂质，还有其他的杂质，偶想知道

kingstome 发表于 2009-7-16 16:15:37

还有一氯氢硅，呵呵
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