XNHHSDGM 发表于 2009-2-20 08:45:09

氢化炉使用过程中应注意些什么？

如题，多晶硅生产过程中有个氢化氯化工序，属于最危险的部分，在使用过程中应该注意些什么？

shchen668 发表于 2009-2-20 08:59:17

氢化最害怕的是泄漏！最容易出现的就是氢化炉夹套缺水，干烧！
LZ提到的氯化工序是什么，能讲讲莫？

lyx0902 发表于 2009-2-20 18:38:19

氢化炉应该没有还原炉危险吧,最怕的就是经常开停,使得发热体寿命大大减短!
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YXMLJ 发表于 2009-2-23 21:56:07

氯化就是H2+CL2=HCL，这是整个多晶硅生产线的第一个工序在氯化炉中反应，温度大概在500度左右

YXMLJ 发表于 2009-2-23 22:02:40

不知道现在的氢化采用什么工艺，原来我们是用回收的SICL4+H2+SI粉，在反应炉中进行。硅粉在干燥炉中加热到480度，氢气在单独的加热器中进行干燥。整个反应炉用电感加热，温度400度左右，压力1.5Mpa，在这个工艺中，SICL4的转化率在20%左右就算不错了。

shchen668 发表于 2009-3-4 08:58:58

原帖由 YXMLJ 于 2009-2-23 21:56 发表
                              
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氯化就是H2+CL2=HCL，这是整个多晶硅生产线的第一个工序在氯化炉中反应，温度大概在500度左右
不对哦，你说的是氯化氢合成。
氯化应该是一个独立的单元，主要用于将二氯二氢硅等氯化为四氯化硅。
不知道那位坛友有这方面的资料？分享下下。

XNHHSDGM 发表于 2009-7-22 11:30:31

氯化一般分为氢化氯化和低压氯化，前者主要是把金属硅转化为硅的氯化物，后者主要是把四氯化硅转化为三氯氢硅。

Minos 发表于 2009-7-22 11:43:05

不知道现在的氢化采用什么工艺，原来我们是用回收的SICL4+H2+SI粉，在反应炉中进行。硅粉在干燥炉中加热到480度，氢气在单独的加热器中进行干燥。整个反应炉用电感加热，温度400度左右，压力1.5Mpa，在这个工艺中，S ...
YXMLJ 发表于 2009-2-23 22:02

                              
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你是哪里的？你们也在用氯氢化吗？
我们也是用的氯氢化，但是压力有20多个大气压，温度也接近600度，一次转化率最高可以到28%
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