ruiguobao 发表于 2009-7-22 10:07:07

通料量的确定方法？

多晶硅生长所需要的混合气量是如何确定的？如果送多了浪费，送少了长的慢，这个问题怎么解决呢？

Minos 发表于 2009-7-22 11:40:01

不明白你的提问指哪方面....................
如果你是问怎么控制流量，那用流量调节阀不就可以了
如果你是问这个流量变化趋势怎么确定的，那就要通过长期的生产并观察，总结了

ruiguobao 发表于 2009-7-23 10:52:55

2# Minos
有没有什么计算方法啊？比如随着硅棒直径的增加那供料曲线是怎么变化的？？

zhouqm 发表于 2009-7-23 11:46:39

进料原则：（1）：确定TCS/H2摩尔比，（2）以硅棒生长速率需求沉积硅反算进料确定流量。
各厂家均有自己的运行经验，需要多试验再确定！

Minos 发表于 2009-7-23 14:12:11

2# Minos
有没有什么计算方法啊？比如随着硅棒直径的增加那供料曲线是怎么变化的？？
ruiguobao 发表于 2009-7-23 10:52

                              
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呵呵，这个变化曲线肯定是有的，不过这个就属于要保密的资料了，自己靠经验积累吧
况且不同的炉子，不同的工况，这个曲线当然也会不同了，各个厂也是不一样的
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