多晶硅氯硅烷的精馏手段
本帖最后由 zengpengke 于 2009-7-27 11:16 编辑也看到了论坛上的关于多晶硅生产中氯硅烷的精馏的一些探讨,再次想重新重点整理收集一些关于氯硅烷精馏手段及其应用效果的信息,比如说反应精馏、吸附、络合、湿氮工艺,希望做这个方面学术、设计、以及了解的或者在现场的兄弟姐妹们能够留下你们的意见和感受,带我收集整理好后会上传上来大家共享,因此在此集思广益,希望各位留下你的宝贵建议和看法,谢谢
好东东! 比较关注反应精馏和湿氮技术,希望能有资料 值得支持! 对湿氮工艺比较感兴趣,不过我关心的是沉淀物的去除问题 我也希望学习哈湿氮技术
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