wwzyx1983 发表于 2009-8-10 13:57:08

多晶硅工艺流程仿真模拟

本人刚开始着手做Zn还原SiCl4工艺的仿真模拟，但是不知道采用什么软件做比较好，怎么入手，请各位高**侠指点下！！！！

happyfatboys 发表于 2009-8-10 14:15:17

实验室小型试验。

南希 发表于 2009-8-11 11:44:27

俄罗斯有一款模拟软件。。。
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