kitewxg 发表于 2009-8-17 15:37:34

三氯氢硅合成反应中，杂质反应

由于硅粉中含有一定杂质，在三氯氢硅合成过程中，这些杂质元素也会和 HCL气体发生反应，请教各位，杂质元素在合成反应过程中会发生哪些反应？对后续工序有什么影响？

536huangjie 发表于 2009-8-18 09:24:58

主要是生存氯化物。对后续没有多大影响，主要是影响纯度啥

kitewxg 发表于 2009-8-18 09:29:02

2# 536huangjie 硼、磷等氯化物以何种形态存在？ 金属氯化物都以何种形态存在？

David_367 发表于 2009-8-18 14:45:51

主要是P B等杂质反应后 会生产氯化硼 氯化磷 等氯化物 ，
而我们主要的目的就是除去BP杂质 最终得到高纯度多晶硅
但PB 在氯硅烷中存在的形态有很多种 ，能搞清楚的应该也没几个，就像细菌一样无处不在。
都需要加油。

Minos 发表于 2009-8-18 15:29:34

除了形成简单的氯化物，BCl3主要以气体、PCl3主要以液体存在外，B可能还形成一系列络合物...因为B的缺电子结构具有这种特性，这也是影响提纯的一个重要因素

nsl217 发表于 2009-8-18 15:38:53

现在一般都以BCL3.PCL3的形式存在，一般要求三氯氢硅中含B小于80PPB,含P小于30PPB左右！
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