zouhong1976 发表于 2009-8-18 16:29:54

四氯化硅和三氯氢硅还原法生产多晶硅其最根本的反应机理是相同的

说白了，我认为在多晶硅还原炉中，四氯化硅应该先被还原成三氯氢硅，再由三氯氢硅进一步还原成硅。

eaglet1984 发表于 2009-8-18 16:47:19

呵呵，你说的就是四氯化硅氢化工艺。

zjiris 发表于 2009-8-18 19:40:03

你说的是四氯化硅和三氯氢硅混合进入还原炉反应吧，其还原电耗肯定高于三氯氢硅还原电耗，不过由于少了氢化，因此关键还是需要看综合电耗。不过从长远看，我认为这类尝试没什么优势
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