还原炉硅棒的温差
请教各位实际生产中内、中、外硅棒的温差有多少度?超过100吗?进气的温度有多少度?
尾气出口的温度多少度?
棒与棒之间的温差应该不会有那么多吧,棒表面跟气相主题的温差也就一两百度而已,一般不会超过两百
但是即使是几十度的温差,就已经有很大影响了,西门子还原炉内多晶硅沉积的适宜温度区间也就那么窄而已 温度梯度还是有点大的! 温度梯度还是有点大的!
ranrui 发表于 2009-8-6 10:52
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外圈棒表面到冷壁的温度梯度是很大
但是棒之间的温度梯度,并不应该很大 这个要看炉子本身的设计了 棒数多的炉子,每圈棒之间的温度梯度应该会比较小................ 前期的温差比较大,但是后期也在30度的范围内啊 跟还原炉的进出口位置及硅棒布置有关系,要求温差尽量小。
经过换热后进气温度大约有200度,出口尾气约600左右吧,跟工艺有关啦。
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