luhongtai 发表于 2009-7-16 17:28:43

多晶硅生产微量氩的控制

多晶硅生产需要高纯度的氮气，要求含氧小于3PPM，可有些用户要求氮气中氩含量小于5PPM，氩为什么要控制？

buchaqian 发表于 2009-8-23 18:44:01

是不是在多晶硅生产过程中，氩气也会参与其中的反应或者与某种原料生成中间物？
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