fengjunqiang 发表于 2009-8-15 16:46:37

多晶硅产品的成晶性

各位同仁，最近一段我公司的多晶硅产品的成晶性不好，用户反映拉制单晶过程中有断晶现象，不知什么原因？

Minos 发表于 2009-8-16 00:29:04

温度控制不好吧....是不是电流波动太大
进料控制是不是也有问题...

mountain988 发表于 2009-8-16 16:16:29

来此 学习一下，高人很多啊。

南希 发表于 2009-8-17 09:14:32

某些分析证明，氢气中含氧大于20ppm，水的露点大于-30℃时，在硅棒的生长方向（径向）上生成了数量不等的分层结构，即多晶硅夹层现象，严重者用肉眼可以直接从硅棒的横断面上看到一圈一圈的象树木生长“年轮”一样的明显图像，这些夹层的存在对单晶硅的生长带来大的影响，在真空条件下生长单晶硅时，会造成熔融硅从熔区（或坩埚）中溅出，轻者有“火焰”一样往外冒花（即所谓的“放花”现象），严重者会崩坏加热线圈（或加热器和石英坩埚），甚至造成生产无法进行下去（这些现象称为硅跳现象），而一般常见现象为熔区表面（或熔体表面）浮渣很多，致使多次引晶不成等等。

chwell2004 发表于 2009-8-17 13:22:59

还是生长不致密所致啊

fengjunqiang 发表于 2009-8-25 13:02:15


很专业啊！是氢气的露点吧！以此看来是氢气的问题了，只要解决氢气的露点就可以了吗？我公司的氢气露点在-60度以下，怎么还有这样的问题？
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