jacky_key 发表于 2009-8-24 16:38:24

多晶硅爆米花状问题分析探讨

目前国内很多企业多晶硅产品都多少存在爆米花状的产品（特别是在横梁搭接处），原因可能有很多，请大家积极发表意见，分析分析。

Minos 发表于 2009-8-25 00:10:46

其实深层次原因也就那么几条...这里也都做过讨论
重要的是怎么改进...
很好奇老外是怎么做的..............可惜没有机会见识一下...

ercihanshu 发表于 2009-8-25 10:20:43

爆米花问题，由于温度太高生长速度太快，在横梁上形成的突起，也有可能是温度太低形成的不定形硅

miaofeng120 发表于 2009-8-25 12:48:58

加大喷速应该要好一些

学海狗刨 发表于 2009-8-26 21:45:54

那是因为温度分布不均匀，加上气流速度过大。解决方案主要两点;一是改善进气方式，二是控制进气流量。说起来简单，做起来比较难！

南希 发表于 2009-8-27 07:41:08

温度太高，气体比例不合适。

lamp868 发表于 2009-8-27 21:23:11

只有在生长后期才会出现，可能是生长速度太快，增大流量时气体分布不均匀引起的
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