fmch6605 发表于 2009-8-25 09:28:22

咨询世界难题

工业上生产一氯甲烷主要有气相固定床法和液相法两种，哪位高手知道两者到底有什么区别和优劣？为什么生产多晶硅要用液相法，而生产甲烷氯化物都用气相法？谢谢了

ranrui 发表于 2009-8-25 10:21:53

多晶硅用的是气相沉淀法CVD,什么时候变成液相法了？

fmch6605 发表于 2009-8-26 11:26:26

我是问生产多晶硅的原料一氯甲烷的生产方法，看清楚了哦：）

mountain988 发表于 2009-8-26 14:07:28

可能是和纯度要求有关吧。

Minos 发表于 2009-8-26 14:45:22

一氯甲硅烷是什么？这种东西能稳定存在吗？有没有什么物性参数？
如果是用液相法生产的话，我觉得是不是因为当温度达到它沸点之后它会变得不稳定，很容易分解....个人推测....

fmch6605 发表于 2009-8-29 08:35:37

不应该是纯度问题，目前国内甲烷氯化物装置都是气相法，同样可以分离出高纯的一氯甲烷，可就是想不通，做多晶硅的为什么都要用液相法生产的一氯甲烷。期盼高手指教。
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