多晶硅生产的氢气、三氯氢硅比例

fengjunqiang 发表于 2009-9-2 00:23:45

各位，多晶硅生产中氢气和三氯氢硅的比例为多少为最佳？比例的改变对产品质量影响如何？加压还原工艺中对二者的比例如何加以控制？
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Minos 发表于 2009-9-2 08:53:48

有很多种可行的方案....都有其自身的道理.....这个得具体分析了
并且生产过程中也是需要不断调整比例的，这个比例对质量影响主要体现在硅棒表面形貌

zhangrang 发表于 2009-9-2 10:23:09

本帖最后由 zhangrang 于 2009-9-2 10:27 编辑
这篇文章详细讲述了多晶硅生产过程中，三氯氢硅与氢气的比例以及其它因素对多晶硅气相沉积的影响，希望对大家能有所帮助，谢谢！

ppqiner 发表于 2009-9-2 10:32:34

文章中的有些结论还是不要过分相信，希望阅读的人好好分析一下。

南希发表于 2009-9-3 12:29:14

目前的做法是根据硅棒的直径来调整气体配比，因为温度只是参考值，非绝对值。

winer.LIU 发表于 2009-9-3 15:09:20

压力的高低有很大关系
如果配比大肯定棒子长的光滑些

fengjunqiang 发表于 2009-9-4 20:47:05

各位楼主讲的各有道理，这里面问题是加压还原时系统的压力如何控制，还原炉的安全控制如何控制。三氯氢硅与氢气的比例为多少时对硅棒表面形状造成影响。
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