四氯化硅氢化法生产硅烷(SiH4) 的相关资料
那位大侠提供一点四氯化硅氢化法生产硅烷(SiH4) 的相关资料!!!谢了!我也需要SiH4的有关生产工艺的材料,请知道的同学提供一下,谢谢! 我也 需呀,可以共同沟通下!qinmingming@340.com 我也 需呀,可以共同沟通下!qinmingming@340.com 我也想要。发份给我
desalter@163.com
3Q!! UCC法: 即 ASiMi 和 SGS采用的硅烷法
a氢化:SiCl4 +2H2 + Si ---------4SiHCl3
b歧化 :2SiHCl3 ——————H2 SiCl2+ SiCl4
3 H2 SiCl2-------- 2SiHCl3+ SiH4
不过,这几个反应转化率都不高,且此法较危险。 我这有一本比较老的书籍,
但是由于本人级别不到二级,所以无法上传,
你们也找找 书名是什么啊 7# pruden 呵呵,你们要做硅烷法吗?好像宣称要做的不多啊。
建议四氯化硅氢化法写成三氯氢硅歧化法明白的人更多一些!
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