多晶硅工艺的干法回收一般要冷冻到多少度?
改良西门子法采用了闭环工艺,尾气采用了干法回收。不知道用什么方法分离氯化氢和氢气,如果采用冷冻回收,要冷到多少度啊,请知道的专家指教啊。应该在55度吧,螺杆压缩机组2-3套 加压的情况下,冷凝到-50℃或以下即可 问下,为什么需要加压后降到-50度,三氯氢硅和四氯化硅常压下32和57就可以液化了呀。而且温度很低的话有可能把氯化氢也液化了,就达不到分离三氯氢硅+四氯化硅和氯化氢+氢气的目的了。 加压后降到-50度
液化的就是氯化氢 那么冷凝三氯氢硅和四氯化硅时的温度和压力是多少? 零下50度左右 根据尾气组分的不同,冷却温度也不同。对于三氯氢硅合成工序尾气的冷凝一般采用-40度,此时氯硅烷的冷却效率达85%,对于还原和氢化所产生的尾气一般采用-80度冷凝,氯硅烷的回收率可达97% 具体冷到什么温度需根据,混合气中各组分的分压及组分饱和蒸汽压与温度的关系。 采用-70度就可以
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